精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: C02
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MEMS実用化技術(1)
表面実装技術により作製したウェアラブルレーザ血流計
*日暮 栄治澤田 廉士
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抄録
 シリコンチップ上に半導体レーザ、フォトダイオードなどの光素子を高精度にハイブリッド集積することにより、血流量を無侵襲でモニターできるウェアラブルレーザ血流センサ(センサ光学系部分:幅2 mm×長さ3 mm×厚さ1.5 mm)を開発した。コインサイズのヘッドを人体に当てるだけで血流量を計測でき、データ表示機材としてPDA(Personal Digital Assistant)などの携帯情報端末を利用することが可能である。これにより、測定データの無線伝送も可能とした。
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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