超平滑研削法による超硬合金の研削仕上面粗さ

抄録

筆者等が開発した超平滑研削法を用いて，各種研削条件で超硬合金を研削し，研削条件と仕上面粗さの関係を検討する．そして，仕上面粗さを数１０ナノメ－タ（P-V値）以下にするための研削条件について，幾何学的および実験的に検討する．