瞬時成形工具による放電マイクロマシニングセンタの開発

（第3報：瞬時成形工具による放電マイクロ加工結果）

抄録

微細軸瞬時成形から成形軸の先端形状計測を経て、マイクロ放電加工に至る過程を全て機上で行うシステムの開発を目指している。タングステン細線電極の単発放電により、微細軸を瞬時成形し、先端半径約200nmを達成してきた。本報告では、成形した微細軸を電極として利用したマイクロ放電加工結果について述べる。