遠紫外用フッ化カルシウム単結晶の超精密研磨と表面性状

抄録

次世代リソグラフィー用光学材料として注目されている、遠紫外用フッ化カルシウム単結晶をフロート·ポリシングし、表面粗さの結晶面依存性を調べた。その結果、(111)面で表面粗さ0.11nm rmsが得られた。