測定面の局所的な曲率と傾きによる形状測定法

抄録

鏡面物体の形状を測定する方法の一つとして、測定面の傾きを求め、その値を積分することで形状を求める方法がある。この方法では、傾きデータのノイズが測定結果に大きく影響する。そこで、我々は、測定面の傾きに加えて、曲率を測定し、両者の値を用いて、形状を算出する手法を提案し、ノイズの影響等について、検討を行ったので、その結果について報告を行う。