マイクロスピンドル用光学式回転精度測定法の開発

抄録

本研究は微小なボールレンズを用いるマイクロスピンドル用光学式回転精度測定装置の開発に関するものである。本報告では、主として測定原理、装置の構成、光学系の各種パラメタと測定感度についての計算結果について報告する。光学式回転精度測定法は、電気的なノイズの影響を受けにくいという利点がある。また、使用するボールレンズが微小であるので、マイクロ工作機械用の高速回転スピンドルの評価に適合するものと考えている。