測長AFM及び顕微干渉計を用いた段差標準の精密測定とその不確かさ

抄録

段差標準は機械式，光学式の精密測定機双方の校正に用いられる重要な標準である．従って，双方の手法を用いて段差標準が校正されることが求められている．今回，レーザ干渉計を搭載した原子間力顕微鏡（測長AFM）及び顕微干渉計（二光束干渉顕微鏡）を用いて，段差標準の精密測定を行った．測定の不確かさを算定したところ，双方の測定値が拡張不確かさ(k = 2)の範囲内で一致していることが分かった．これらの装置を用いて参加した段差標準の予備国際比較の結果についても報告する．