微細ダイヤモンド工具を用いたマイクロ研削法の開発（第2報） マイクロシリンドリカルレンズ加工への適用

和田 紀彦; 正木 健

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.63.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: B08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.63.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ加工とトライボロジー（1）

微細ダイヤモンド工具を用いたマイクロ研削法の開発（第2報）

マイクロシリンドリカルレンズ加工への適用

*和田紀彦, 正木健

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キーワード: 微細放電加工, 研削, 金型

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抄録

微細放電加工により成形した焼結ダイヤモンド（PCD）材料を工具とし，ワーク上を微小な切り込みで走査させ高精度に除去加工するマイクロ研削法を開発している．本加工法では，超硬合金等の高硬度材料へ高精度なマイクロ形状の鏡面加工することが期待できる．本報では，工具摩耗特性評価結果及び加工時の工具振動による加工面粗さ向上結果について報告する．また適用例として非球面レンズ等の光学デバイス金型加工の加工結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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