Nano Indentation of Hard Brittle Materials

抄録

ガラス、シリコン、石英などの硬脆材料の表面に微細押込み加工実験を行い、延性モード加工が可能な押込み加工条件を明らかにする。これにより塑性加工による硬脆材料の新しい造形法の可能性を検討する。