真空ポンプ機能を持つレーザスキャナ用動圧型空気スラスト軸受に関する研究

動的特性

抄録

近年、レーザスキャナモータはそれを応用した機器の高性能化に伴い、高速回転化·小型化がますます強く要求されるようになってきている。本研究では，ヘリングボーン溝付空気スラスト軸受を粘性真空ポンプとして利用し，容器内の圧力を減少させることにより，ミラーの風損を低減し軸の高速回転化·小型化を実現する方法を提案する。そして、軸受の動特性(動剛性と減衰係数)について理論的·実験的に明らかにした。