マイクロ機械要素の真円度測定法

抄録

近年，小型工作機械の研究が盛んであり，筆者らの研究室では小型旋盤を試作した．しかし，加工されたマイクロサイズの軸がどのような形状を持っているかを測定する手段がないのが現状である．本研究では小型旋盤で加工した軸の形状を測定し，その真円度を測定することを目的としている．測定にはレーザ変位計を用い，測定物の形状と主軸の振れ成分とを分離させることができる三点法の理論により真円度を算出した．