整列型形状転写装置による水晶片の高能率仕上げ加工法

抄録

周波数特性改善のための水晶片のコンベックス形状化に関して、より高能率な加工方法を検討した。水晶片を粘着シート上に整列固定し、弾性のある転圧板に貼り付け、内側に研磨紙を貼り付けた円筒の内面に押し当てて、円筒を回転させることで形状転写を行う。この加工方法の特徴は、固定砥粒法であること、水晶片を整列固定することで加工方向を制御できること、そして加工面が研磨面に常時接触するため加工能率が向上することである。