レーザトラッピングによるナノCMMに関する研究(第12報)

測定物近傍におけるプローブ横振動特性

抄録

本研究は,レーザトラップにより大気中に捕捉された微粒子をナノCMMの位置検出プローブとして用いることを提案している.本報ではプローブに横方向振動を与え,その振動状態(振幅,位相)の詳細な調査を行った.また,測定物としてシリコンウエハ表面へのプローブ接近時の振動特性を把握し,位置検出手法の検討を行った.