抄録
焦点誤差検出方式の輪郭測定センサーは、測定表面の微小粗さにより発生するスペックル誤差によって、大きな測定誤差が生じる。既報においてスペックルノイズ除去機能を有する測定システムを提案し、触針式に近い値を得ることができた。しかしながら測定結果を触針式測定値と比較すると、わずかであるが高周波成分やピークが残存していた。そこで今回システム構成は変更せずに、照射スポットを円形状から楕円形状に引き伸ばし、スペックル誤差の平滑を試みた。その結果、測定誤差を大幅に減少させ、触針式測定値と同等の結果を得た。
