力平衡型原子間力顕微鏡のカンチレバー変位制御による跳びのない探針·試料間の相互間力の測定法

抄録

カンチレバーのたわみ制御のさい発生するスピルオーバーを避け、跳びのない相互間力を測定するための方法の理論を提案する。カンチレバーを低次元(ここでは2次元)の振動系に変換し、これに最適レギュレータを用いた状態フィードバックを施す方法を示すとともに、その有効性を明らかにする。