位相シフト法による透明膜に覆われた物体の3次元形状測定

抄録

透明膜に覆われた物体を対象として、位相シフト法を用いて測定した場合のインターフェログラムの理論モデルを導いた。
このモデルを基にして、透明膜の表・裏面形状と膜厚を同時測定できるアルゴリズムを開発し、実サンプルにより有効性を実証した。
また、2波長、または、3波長を用いることにより、絶対値決定範囲が拡大可能であることを示す。