磁気抵抗素子を利用した主軸回転誤差の測定法

抄録

MR素子を利用した回転誤差の測定法について述べている.本方法は主軸端に取り付けた磁性体であるテストバーの回転誤差をMRセンサで捉えるものである.この測定法は非接触式で応答速度も速く高分解能であるとともに,静電容量形変位計やレーザ変位計を用いた他の測定法に比べて安価に構成できる特徴がある.本報告では,測定の原理の詳細と測定能力の検討結果について報告する.