矩形ガラス材の高平坦化研磨(第3報) 矩形試料の研削特性

後藤 賢次; 宇根 篤暢; 餅田 正秋; 吉冨 健一郎

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.311.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: D65

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.311.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

プラナリゼーションCMPとその応用(4)

矩形ガラス材の高平坦化研磨(第3報)

矩形試料の研削特性

*後藤賢次, 宇根篤暢, 餅田正秋, 吉冨健一郎

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キーワード: 矩形ガラス材, ディスプレイ, レチクル, 研削, 高平坦面

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抄録

テレビやディスプレイに使用されるガラス材や,リソグラフィに使用されるレチクルには,大型基板化とともに高精度化が要求されている.これらの材料はいずれも矩形状をしているため,従来の研削方法では高平坦化が困難であり,高精度の研磨加工の前加工として使用することは難しい.本報告では,矩形中心から外辺に向かって一様な研削ができる条件について検討したので報告する.

責任著者(Corresponding author)

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