超精密加工機におけるレーザ測長誤差低減のための環境補正装置の高精度化

抄録

これまでに、空気屈折率変化に基づくレーザ測長誤差を低減できる環境補正装置を試作し、超精密加工機の位置決め精度が向上することを実証した。
本報では、さらに性能を高めるために、加工機に組み込まれたレーザ干渉計の原位置長さ(光路上のデッドパスに相当)に注目し、原位置長さの設定値と真値との差異が測長誤差に及ぼす影響を検討した。さらに真の原位置長さを推定するための実験を行い、得られた値を用いて装置の高精度化を図った。