マイクロ非軸対称非球面のフライカットに関する研究(第2報) 送り速度制御による高精度化

結城 正紘; 鈴木 浩文; 山形 豊; 樋口 俊郎; 大森 整; 澁谷 秀雄; 牧野 俊清; 山本 雄士; 沖野 正; 森脇 俊道

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.433.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: F06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.433.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状・機能性材料の超精密加工と計測(2)

マイクロ非軸対称非球面のフライカットに関する研究(第2報)

送り速度制御による高精度化

*結城正紘, 鈴木浩文, 山形豊, 樋口俊郎, 大森整, 澁谷秀雄, 牧野俊清, 山本雄士, 沖野正, 森脇俊道

著者情報

*結城正紘
神戸大学　工学部　機械工学科
鈴木浩文
神戸大学　工学部　機械工学科
山形豊
理化学研究所
樋口俊郎
東京大学
大森整
理化学研究所
澁谷秀雄
埼玉大学
牧野俊清
長津製作所
山本雄士
神戸大学　工学部　機械工学科
沖野正
神戸大学　工学部　機械工学科
森脇俊道
神戸大学　工学部　機械工学科

キーワード: 超精密加工, フライカット, 非軸対称非球面, 送り速度制御

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抄録

近年,OA機器やAV機器では,小型化や高性能化が要求されており,これらに使用されている光学レンズは従来の球面レンズから自由曲面形状を有するレンズやミラーへの移行が進んでいる.本研究では,フライカットによりAS型の自由曲面形状の金型を創成したので報告する.加工は同時3軸(X,Z,C軸)制御加工法で行った.その際,中心部と外周部で表面粗さが異なるが,送り速度を制御することにより改善させた.

責任著者(Corresponding author)

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