三面合わせ真直度測定用レーザ干渉計の開発

抄録

　三面合わせ真直度測定用のレーザ干渉計の開発を行った。この干渉計は1台のセンサヘッドで2面間距離の変化を計測できる。この干渉計を用い、三面合わせ法により直定規の形状(1次元の表面形状)を求める実験を行った。被測定体として有効長400 mmの鋼製直定規を3本用い、連続して20回(被測定体の再設置は行っていない)繰返し計測を行った。算出した表面形状のばらつきは、3本の被測定体とも20 nm(2σ)以下であった。