CVDダイヤモンド膜の研磨 第4報　平面研磨のための研磨条件の検討

横沢 毅; 高木 純一郎; 片岡 征二

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.513.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: F80

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.513.0

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主催: 社団法人精密工学会

超音波振動を援用した加工技術(2)

CVDダイヤモンド膜の研磨

第4報　平面研磨のための研磨条件の検討

*横沢毅, 高木純一郎, 片岡征二

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キーワード: 超音波, CVDダイヤモンド膜, 研磨

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抄録

CVDダイヤモンド膜の新たな研磨方法として砥粒レス超音波研磨を提案し,工具材にチタンを選び,さらに研磨表面に油を塗布することで研磨が進むことを既に確認している.そこで,本研磨法を実用化することを目的に平面研磨を試みた.その結果,一回目の工具送り方向と二回目の工具送り方向を直行させることで滑らかな研磨面が得られ,さらに工具送り方向と超音波振動方向を同一にすると研磨面はさらに滑らかになることを確認した.

責任著者(Corresponding author)

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