EEMの表面創成機構に関する研究

超純水および溶存酸素がSi(001)表面に与える影響

抄録

EEMにより加工されたSi(001)表面は極めて平坦な表面であることが知られている。本研究では、EEMによる表面創成機構の解明を目的に、超純水、溶存酸素が、Si(100)加工表面に与える影響を調べた。超純水に浸漬させると表面粗さは悪化するが、加工液中では悪化しない、溶存酸素の有無により表面粗さ、加工量の違いがないなどの結果を実験的に明らかにした。