マイクロ部品の製作法に関する研究(第6報) マイクロシリンダの組立

神 雅彦; 平賀 陽太; 村川 正夫

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.67.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: A64

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.67.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

超精密マイクロ機械加工(1)

マイクロ部品の製作法に関する研究(第6報)

マイクロシリンダの組立

神雅彦, *平賀陽太, 村川正夫

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キーワード: 切削加工, マイクロ加工, シリンダ

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抄録

本研究では,マイクロ機械部品として,マイクロシリンダを取り上げ,同各部品の製作法および組立法に関して検討した.まず,前報までにおいて,マイクロシリンダロッドは高アスペクト比軸加工に適した加工パスにより製作し,マイクロシリンダチューブはマイクロドリルによる最適加工条件で穴あけ加工することにより製作した.そして,本報においては,それらの部品を含むマイクロシリンダ部品を超精密機械により組みつけ,マイクロシリンダを完成させた.

責任著者(Corresponding author)

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