超精密5軸制御加工用誤差補正法の開発

園 真; 寺本 孝司; 石田 徹; 竹内 芳美; 河合 知彦

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.77.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: A70

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.77.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

超精密マイクロ機械加工(2)

超精密5軸制御加工用誤差補正法の開発

*園真, 寺本孝司, 石田徹, 竹内芳美, 河合知彦

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キーワード: 超精密加工, 5軸制御加工, 工具形状誤差, セッティング誤差, 誤差補正

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抄録

　超精密マイクロ加工では,あらゆる種類の誤差が加工精度に多大な影響を与える.さらに最近は,要求される形状が複雑化·微小化し,寸法精度の高い工具による多軸制御加工が必要不可欠となっている.しかし,軸数が増えるほど誤差は蓄積し,加工形状が微小化するほど工具精度の影響も大きくなる.そこで本研究では超精密5軸制御加工の高精度化を目指し,加工形状測定による誤差補正法を考案し,その効果を実証した.

責任著者(Corresponding author)

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