マイクロピペットプローブを有するSPMを用いた紫外線硬化樹脂微細加工法の開発

抄録

電子デバイスやマイクロ·ナノマシンは近年益々超精密な微細加工技術が要求されている。我々は新規な微細加工法として溶液試薬が充填可能であるマイクロピペットをプローブに用いた走査型プローブ顕微鏡を開発し、新しい超微細ナノスケール加工法を開発してきている。本報告では光硬化性樹脂を用いた堆積加工法を開発したのでその特性について報告する。