高真空対応ガイド移動形エアスライド 差動排気シール部の最適化設計

中村 剛; 佐治 伸仁

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.861.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: K04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.861.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(1)

高真空対応ガイド移動形エアスライド

差動排気シール部の最適化設計

*中村剛, 佐治伸仁

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キーワード: 位置決め, 静圧気体軸受, 真空, 差動排気シール

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抄録

電子ビーム露光装置に代表される高真空環境での超精密位置決めのニーズに対して,我々は,高真空対応ガイド移動形のエアスライドを開発した.真空環境でエアスライドを使用するためには,排気回収部と真空環境をシールする非接触のシール要素が必要とされる.本報告では,開発したエアスライドに採用した差動排気シールの構造概念を提示すると共に,最適化設計を行った結果を報告する.

責任著者(Corresponding author)

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