精密工学会学術講演会講演論文集
2005年度精密工学会秋季大会
セッションID: L01
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マイクロ/ナノシステム(旧マイクロメカニズム)(1)
水晶振動子の整列高速研磨法の研究
*濱野 尚初澤 毅柳田 保子
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抄録

小型水晶振動子の副振動を抑制し周波数特性を向上させる手法として,バレル研磨を用いたブランクの両面コンベックス加工が行われている.しかし加工に2˜300時間程度の長時間要するため,加工時間の短縮が必要となる.そこで従来より提案してきた固定砥粒法を改良し,水晶振動子を転圧版に整列して貼り付けることで,10分間で良好な片面コンベックス形状が得られた.また,固定法の改良により3分間での加工の可能性を示す.

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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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