圧力バランス機構を用いた高耐圧気体用マイクロバルブ

抄録

FA·制御機器や健康関連家電製品など用いられるエア・アクチュエータの小型化ニーズに応えるために、MEMS加工技術を用いた超小型マイクロバルブを開発した。本マイクロバルブは、圧力バランス構造を用いることで０．７MPaの高圧エアを５０Vの電圧でON／OFFすることが可能である。また、このときの流量は０．２Ｌ／分（０．７MPa時）、電流リーク量は０．１μA以下であることが確認できた。