レーザ干渉変位計によるインボリュート形状の精密測定法(第3報) すべりのない駆動法の開発

竹岡 郁; 小森 雅晴; 久保 愛三; 高辻 利之; 大澤 尊光

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.1077.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: N34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.1077.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測(4)

レーザ干渉変位計によるインボリュート形状の精密測定法(第3報)

すべりのない駆動法の開発

*竹岡郁, 小森雅晴, 久保愛三, 高辻利之, 大澤尊光

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キーワード: 歯車, インボリュート, 精密計測, レーザ干渉, アーティファクト

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抄録

歯車はその微細歯面形状が振動性能に影響するため厳しい品質管理が必要となる.このため,品質管理体制の根幹となるアーティファクトの高精度値付け技術が要求されている.本研究ではレーザー干渉変位計によるインボリュート形状の測定において,アーティファクトの駆動時のすべりが問題となることを明らかにした.そこですべりのない駆動法を提案し,これを用いることでより高精度な値付けが可能であると確認した.

責任著者(Corresponding author)

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