ナノパーティクル測定機の検出精度の向上と洗浄効果の評価

抄録

ステージ駆動時の機械振動による検出感度への影響を考慮して、ステージ駆動制御方法をハーフステップ制御からマイクロステップ制御への変更することにより振動の低減を図り検出限界を24nm台まで向上させ、標準ナノ粒子のPSLを用いて実証を試みた。また、PSLを散布したSiウエハに対して、ふっ酸(HF)とオゾン(O3)を用いたウエット洗浄を用いて、洗浄前後のPSLの計測を行い、ウエット洗浄による粒径30nm以下のパーティクルの洗浄除去効果に対する評価も試みた。