高精度X線CTを用いたMEMSデバイスのリバースエンジニアリング

メタルアーチファクト低減を目的とした画像再構成アルゴリズムの提案

抄録

3次元構造を有するMEMSデバイスの組み立て精度を検証するためには、マイクロX線CTの利用が不可欠である。しかし、現状のCT画像にはメタルアーチファクトの問題があるため、様々な材料で構成されたMEMSデバイスについて適切な画像を得ることは困難である。そこで本研究では、新しいCT撮影技術およびCT画像の再構成アルゴリズムを考案し、広い撮影視野に対してメタルアーチファクトを低減した高精度なCT画像を得ることを目的とする。