Wavelet変換を用いたSEMによる三次元形状計測法の開発

抄録

反射電子を用いたSEM内で測定対象に格子投影することによる計測方法の確立が目的である。SEM内の光学的関係から測定対象と格子影のみが撮影される条件を明確にした。これを用いて、周期的な格子像を物体表面に投影し、その画像の輝度をWavelet変換することで形状計測を行う手法を提案する。この手法によるシミュレーションの結果から、1.5%程度の標準偏差をもつ計測が可能であることが確認されている。