CVD–SiC球面ミラーのELID研削と仕上げ加工法の検討

鈴木 亨; 井出 雅之; 平井 聖児; 森田 晋也; 林 偉民; 渡辺 裕; 上原 嘉宏; 成瀬 哲也; 大森 整

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.413.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: F14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.413.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

ナノ表面研削／ＥＬＩＤ研削(3)

CVD–SiC球面ミラーのELID研削と仕上げ加工法の検討

*鈴木亨, 井出雅之, 平井聖児, 森田晋也, 林偉民, 渡辺裕, 上原嘉宏, 成瀬哲也, 大森整

著者情報

*鈴木亨
理化学研究所　大森素形材工学研究室
井出雅之
ものつくり大学　技能工芸学部製造技能工芸学科
平井聖児
ものつくり大学　技能工芸学部製造技能工芸学科
森田晋也
理化学研究所　大森素形材工学研究室
林偉民
理化学研究所　大森素形材工学研究室
渡辺裕
理化学研究所　大森素形材工学研究室
上原嘉宏
理化学研究所　大森素形材工学研究室
成瀬哲也
理化学研究所　大森素形材工学研究室
大森整
理化学研究所　大森素形材工学研究室

キーワード: エリッド研削, SiC, 球面, 超精密, 機上測定, 非接触レーザープローブ

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抄録

SiC材料は高剛性で強度,熱膨張率も低いため各種球面.非球面ミラー用材料として注目されているが加工性が悪く難加工材の1つでもある.今日までCVD–SiC材についてELID研削法よる高品位高精度加工を行ってきたが研削加工であるため加工物の表面上には微少な加工痕が残存してしまう.本報告ではCVD–SiC材料をELID研削法と非接触機上測定機により超精密球面ミラーの加工を行い,研削痕の低減のためオスカー研磨加工法の連携について評価したので報告する.

責任著者(Corresponding author)

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