Siメソポーラス形成時に生じるマイクロポーラス層の除去

抄録

多孔質シリコンを触媒支持層として用いたマイクロ燃料電池の開発を進めている。触媒支持層としては、メソ·マクロポーラスがのぞましいが、多孔質層表層数十nmにはマイクロポーラスが形成されてしまうことが分かった。このマイクロポーラス部は、流体にとって大きな流量抵抗となり、触媒層形成の際に問題となる。そこで,マイクロポーラス部をアルカリ溶液とふっ酸溶液により除去する方法を開発した。