精密工学会学術講演会講演論文集
2006年度精密工学会春季大会
セッションID: G39
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プラナリゼーションCMPとその応用(1)
研磨機の回転精度と工具磨耗の関係
*河西 敏雄今橋 昇楢原 秀明
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抄録
高精度の動圧軸受けの研磨機を準備し、ラッピングにおけるラップの触れと磨耗の関係を実験的に検討した。
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© 2006 公益社団法人 精密工学会
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