抄録
従来研磨加工として,熟練技術者によるハンドポリッシング,或いは研磨パッドをNCシステムによる走査が挙げられる.しかしながら,マイクロ非球面金型など加工領域が微小な場合ではそれらの方法は非常に困難なこととされている.それは,研磨パッドの作製,取り付けが困難なこと,さらに微小な加工領域に砥粒を効果的に集中·保持することが困難なことに起因する.そこで本研究では電気粘性流体を援用した微小領域での研磨加工について研究を行っている.本報では電気粘性流体を援用した研磨加工の加工メカニズムについて考察した.