メンブレン駆動マイクロポンプの開発

マイクロバブル駆動方式の原理と試作

抄録

メンブレインで囲まれるマイクロ空間で、メンブレイン振動により容積変化させ、ポンプとして駆動させる.ここでは振動源として液体の気化を利用する原理を報告する.バブル発生チャンバーと流路はメンブレインによって仕切られ,マイクロヒータによって発生させたマイクロバブルの発生·収縮運動による力でメンブレインを駆動し,流体ポンプとする.その試作,バブルの発生·収縮運動と流量に関する基礎結果を報告する.