超高精度位置決め用単結晶圧電アクチュエータに関する研究

抄録

単結晶圧電体LiNbO₃は、線形性に優れ、ヒステリシスもないと予想される。LiNbO3は、最適なカット角(36°Y–cut)を選択することで、厚み方向の圧電定数38pC/Nを得ることができ、さらに、LiNbO₃結晶板を積層することで変位を増倍でき、PZTに匹敵する圧電変位が得られる。超高精度位置決め制御を可能にするアクチュエータの実現を目指し、LiNbO₃積層アクチュエータのリニアリティや圧電·振動特性を評価した。