マイクロスピンドル用光学式回転精度測定装置の開発

測定回路の改良および微小ターゲット球の適用

抄録

スピンドルに取り付けたターゲット球にレーザ光を照射し,その反射光の動きから回転軸の触れを評価する測定装置の開発を行い,さらに測定精度の低下を招くターゲット球の反射むらの影響の除去方法について提案してきた.今回,測定回路において応答速度の向上および低ノイズ化を図り,微小ターゲット球を高速スピンドルに取り付けて,よりマイクロスピンドルに近い環境における測定を可能にしたので報告する.