ボールねじ熱膨張のリアルタイム補正による位置決め精度の向上(第２報)

補正の原理と運転条件の影響

抄録

ボールねじの温度分布を測定し，これをもとに，ボールねじのスラスト固定用軸受とテーブル用ナットとの間の熱膨張量を推定する．ナット位置は，CNC制御装置から取得した現在座標値である．熱膨張量の推定値を補正量としてCNC制御装置に指令し，機械座標系原点シフト機能により，リアルタイム補正を行い，テーブルの位置決め精度を向上させた．z-0～z-384mmの範囲で-7.1～+0.3μmの位置決め精度を達成した．