ワイヤ駆動による顕微鏡下でのマニピュレーション機構

抄録

近年、数？o以下の微小光学部品を顕微鏡下でハンドリングする要望が高まっている。ここでは、1？o角程度のマイクロレンズアレイ(MLA)を多芯のフェルールにアンセンブルするために3自由度マニピュレーション機構を検討した。これは、グリップの開閉動作、水平回転動作、垂直回転動作が互いに干渉しない構造としている。測定の結果、リスト動作は1パルスあたり0.5°以下を実現し、MLAを取り扱うのに十分な動作性能が得られた。