トンネル電流領域での接触感知を用いた高精度工具位置だし技術の開発

抄録

マイクロ切削加工では，工具とワーク基準面の高精度な位置だしが必要となるが，現状では１μｍないし，サブミクロンの精度に過ぎない。ここでは接触感知を用いた方式を用い，流れる電流をトンネル顕微鏡近傍まで制限することにより高精度な位置決めが可能になることを示す。