力センサを内蔵した高速工具サーボ機構の開発

加工原点位置検出実験

抄録

最近、マイクロレンズアレイはディスプレイの光源強度分布の補正、視野角向上の目的で多く利用されている。機械加工においてマイクロレンズアレイを加工するためには半径が数μm～数十μmの単結晶ダイヤモンドマイクロ切削工具が用いられている。マイクロ切削工具の破損を防ぐために、工具と加工物の接触を自動的に検出することが求められる。本報では内蔵した力センサによってマイクロ切削工具と加工物の接触を数十nm単位で検出可能な高機能高速工具サーボ機構を試作し、接触検出実験の結果について述べる。