マイクロボールエンドミルの位置測定における光学的フィルタの最適条件

抄録

これまでマイクロボールエンドミルの刃先位置測定を行なう方法として、フーリエ変換レンズとアンチピンホールから構成される光学的フィルタの開発を行なってきた。しかしながら、現在この光学的フィルタを使用して画像を取得する際、画像の良否は測定者の感覚に頼っている。そこで本研究では、画像の良否を定量化する方法を提案し、光学的フィルタの最適条件について調査したので、その結果について報告する。