リソグラフィ用ポーラスピンチャックの開発

抄録

リソグラフィに用いる新しい静圧シール型のポーラスピンチャックを開発した．本報では，現在使用されているリングシール型や静圧シール型ピンチャックについて，シール部とピン部の段差等を実測した結果を明らかにするとともに，この問題点を克服するために開発したブラスト加工によるポーラスピンチャックの製造プロセスや，ピン形状，ウエハ裏面との接触率などの基本特性を測定したので報告する．