摩擦や流体抵抗の低減，撥水作用などの新たな表面機能を発現させるため，表面にナノ-マイクロレベルの微細な形状を創成する必要がある．これらの機能の評価を行うためには，様々な形状，パターンの微細な形状の加工が必要であり，形状，パターンの制御自由度が高い加工法が要求される．また，一方で自動車に使用されている部品は，高硬度な鉄鋼材料が多く，これらの高硬度な材料への加工も必要となる．そこで本研究では，これらの微細形状加工を行うために，出力密度が大きく，応答速度の高い超磁歪素子をアクチュエータに適用したインデンタを試作し，単結晶ダイヤモンド工具を用いて，その基礎特性の評価を行った．その結果，HRC50以上の高硬度な材料に加工できることが確認できた．
