金属ガラスへの超音波振動マイクロ穴加工

抄録

マイクロフラットドリルを精密研削で製作した後，そのドリルを用いて金属ガラスへのマイクロ穴加工を行った．超音波振動を付加あるいは無付加の条件で穴加工実験を行うことによって，金属ガラスへのマイクロ穴加工における超音波振動の効果を明らかにした．