主催: 社団法人精密工学会
大阪大学 大学院工学研究科 機械工学専攻
ファナック
ニコン
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超精密多軸切削技術による,複雑な反射面を有するフライアイミラーの創成技術が提案されている.これは、エッジ角度が90°以下である1枚刃の単結晶ダイヤモンド工具をエンドミルとして用い,それを多軸制御で走査することにより複雑面創成するものである.本研究では,その手法を適用して,直径1mm以下の球面マイクロレンズアレイ型を加工した.その結果,同レンズアレイ型が効率良く高精度に加工できたので報告する.
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