シリコン微細加工を用いたメカフォトニクス（キーノートスピーチ）

抄録

シリコンのマイクロアクチュエータはメカノフォトニクスにおいて可変メカニズムを導入するために有効であると期待されている。サブミクロンスケールのくしとバネを持った静電くしアクチュエータを設計，製作した。サブミクロンのシリコン導波路と組み合わせることで，光スイッチと結合効率可変のマイクロリングフィルタを製作した。これら極微小のデバイスの機械的および光学的特性を測定した。